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进入90年代,我国的一些清洗、铸造等性书籍和杂志中,对该技术也只有简要性介绍。90年代末期,国内在引进国外成套设备的同时引进了干冰清洗设备。较早采用干冰清洗的上海汽车有色铸造总厂从干冰清洗中获得了巨大效益,有效的保障了铸件质量,提高了生产效率。近些年来,一些外资企业和大型国企也都陆续引进或使用国外干冰清洗设备。

干冰作用速度对表面质量的影响:干冰作用速度代表干冰喷嘴相对于静止的封装体单位时间内移动的距离,作用速度主要通过影响单位时间到达切割侧壁表面的干冰颗粒数量和作业效率对处理效果产生重要影响。作用速度越小,表面单位面积单位时间受到的干冰颗粒数量越多,形成的颗粒力越强,表面杂质越易受到剥离作用而去除。但是过小的速度不仅使作业效率降低,还会导致阻焊层破损严重。所以,干冰清洗设备厂家,控制好干冰作用速度对半导体封装表面质量改善效果意义重大。喷射角度主要影响阻焊层的破损率,这是因为微裂纹在 PCB 表面有一定的方向性,喷射角度越小, 微裂口方向与冲击方向越垂直,阻焊层越容易沿着微裂方向形成大裂纹以致脱落;而喷射角度越大,微裂纹受到的冲击力越平行于微裂口方向,微裂口受到的冲击力越小,越不容易使裂纹扩散变大。本实验封装体样品水平静止放置,干冰喷嘴在其上方成不同角度进行喷射,喷射角度对杂质去除量的影响效果如图6a 所示。喷射角度小于 70?时,表面 Cu 杂质含量均较低,杂质去除效果明显;当喷射角度大于 70?并继续增加时,Cu 杂质含量突然大幅度增加,接近未清洗时杂质含量。

80年代末,由于加工精度和集成电路技术的不断发展,美国对干冰制造机、喷射机进行了较大改进,体积大大缩小,重量减到2吨,并且利用微循环深冷技术,使CO2利用率提高近2倍,制造出不同硬度和尺寸的干冰颗粒,降低了成本,使得该项技术由转向民用领域、工业领域,并得到飞速发展。 美国、欧洲、日本等发达地区应用干冰清洗技术很普遍。在轮胎、铸造、塑料、橡胶、烘焙食品、航空、汽车内饰件生产等领域发挥了重要作用,为企业节约了大量的清洗费用,为环境保护带来了巨大益处。干冰清洗被美国大规模采用进行飞机维修、飞机脱漆,波音公司也是如此。

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